SJT 11181-1998 净化涂胶台通用规范
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ID： |
D64BDCBB1B7A411C890042684261A220 |
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文件大小(MB)： |
0.13 |
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页数： |
8 |
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文件格式： |
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日期： |
2009-6-12 |
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ICS 31.020,L 97,备案号:2084一1998 SJ,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 11181一1998,净化涂胶台通用规范,General specification for resist一coating,sta ge w ith p ur ifi edr oom,1998-03-11发布1998-05-01实施,中华人民共和国电子工业部发布,前言,本标准是根据国内净化涂胶台的技术条件，参照国外同类设备技术资料进行编制的,本标准由电子工业部标准化研究所归口,本标准起草单位:电子工业部半导体专用设备研究所,本标准起草人:赵怀科、黄燕,中华人民共和国电子行业标准,净化涂胶台通用规范SI/T 11181一1998,General specification for resist一coating,sta ge w it h pu ri fied room,范围,本 标 准 规定了净化涂胶台(以下简称涂胶台)的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包,装、运输、贮存,本 标 准 适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照,使用,2 引用标准,下 列 标 准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所,示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的,可能性,GB 1 91 -90 包装储运图示标志,GB 2 68 1-81 电工成套装置中的导线颜色,GB 2 68 2-81 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色,GB 3 7 68 -83 噪声源声功率级的测定一简易法,GB 5 22 6--85 机床电气设备通用技术条件,GB 6 38 8-86 运输包装收发货标志,SJ/ T 1 42-19% 电子工业专用设备通用规范,SJ/ T 1 0152-91 集成电路主要工艺设备术语,SJ/ T 1 0 386-93 电子工业专用设备可靠性指标验证试验方法,SJ 2 0 385 -93 军用电子设备电气装配技术要求,3 定义,本 标 准 采用下列定义,3.1 基片substrate,又 称 衬 底。置于相同或不同材料之下，对其起有支撑或基座作用的半导体单晶或其它材,料构件[SJ/T10152-91中3.1.1.2]e,3.2 涂胶gule coating,在 高 速 旋转下，由于离心作用和液体表面张力使胶液均匀地涂覆在基片上的过程,3.3 涂胶台，esist-coating state,中华人民共和国电子工业部1998-03-11批准1998-05-01实施,一 1 一,S1/T 11181一，998,利 用液 体 表面张力和基片高速旋转的离心力的作用，将光致抗蚀剂均匀地涂粗在基片表,面的设备[SI/T 10152-91中3.1.31.,4 分类,4.1 按自动化程度可分为:,a) 全 自动净化涂胶台;,b) 半 自动净化涂胶台;,c) 手 动净化涂胶台,4.2 按工位可分为:,a) 单头净化涂胶台;,b) 多头(多工位)净化涂胶台,.3 按有无烘干装置可分为:,a) 带洪干装置的净化涂胶台;,b) 不带烘干装置的净化涂胶台,5 要求,5.1 使用条件,5.1.1 环境,a) 温 度:22℃士2C;,b) 相 对湿度:簇60%;,c) 净 化 室洁净度:10级，100级.1000级,5.1.2 电源,a) 电 压 :220V士22V;,b) 频 率:50Hz11 H z.,5.1.3 基片,a) 平 行度:<0 .05 mm ;,b) 尺 寸:08mm- 075mm,0 100mm,0 125mm,0 150mm.,5.2 外观,5.2.1 涂胶台外观设计应美观，表面无凹陷、毛刺和拉伤等缺陷,5.2.2 外表喷漆颜色应鲜亮，色调一致，不得有脱落、龟裂、流挂、起泡或划伤等缺陷,5.2.3 经电镀及化学涂覆的零部件表面应光亮，无斑痕，无锈蚀.脱皮及明显划痕等缺点,5.2.4 涂胶台润滑、安全操作、接地都应有明显的指示标志和标牌,5.2.5 操作面板及标牌的刻线、数字、文字和图形符号等标志，必须统一、明确，且字迹清晰,位置正确，安装牢固,5.3 性能特性,5.3.1 空气净化台,有 效 操 作区气流状态应为垂直层流,a) 操 作区风速:0.5m /s士0.1m/s;,b) 过 滤率: >99.95%.,5.3.2 涂胶台,一 2 一,SJ/T 11181-1998,a) 匀 胶转速:50r/min-9000r /min，连续可调;,b) 匀 胶时间:0-99.9s可以设定,5.3.3 传动机构,涂 胶 台 应运转平稳，各部分动作协调一致，操作开关、手把应灵活、准确，安全可靠,5.3.4 减震装置,工 作 台 应有减震装置。减置装置应具备调节机构，且调节方便、灵活,5.3.5 气路系统,涂 胶 台 应气路畅通，电磁阀、气缸开关灵活，动作准确,5.3.6 润滑系统,涂 胶 台 润滑良好，各润滑部位应有明确标志，并在产品说明书中规定润滑周期和润滑油的,类型,5.3.7 电气控制系统,5.3.7.1 按钮、开关控制方便、灵活、可靠，其颜色应符合GB 2682的规定,5.3.7.2 时间、转速指示准确、直观,5.3.7.3 电气控制系统安装应符合SJ 20385的规定,5.3.7.4 电气导线颜色应符合GB 2681的规定,5.3.8 噪声,涂 胶 台 运行时噪声应小于65dB(A)a,5.4 可靠性,涂 胶 台 应有可靠性指标要求，具体指标在产品标准中规定,5.5 安全,5.5.1 电气绝缘电阻应大……
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